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製品情報

エッジポリシング・パッド/EDGE POLISHING PADS
半導体製造用消耗部品/Consumables for semiconductor manufacturing

エッジポリシング・パッド/EDGE POLISHING PADS

アライバー・シリーズ/Araibar Series

“Araibar”シリーズは コロイダルシリカを内包したエッジポリシュ専用固定砥粒パッドです。

AraibarSeries are fixed abrasive confaining pad wite colliddal silica

AraibarSeries / アライバー・シリーズ
Araibar Series / アライバー・シリーズ

リーフレット/LEAFLET

SPECIFICATIONS
物性項目/ITEM 単位/UNIT 規格値 (最小~最大)/Specified Value
密度/DENSITY g/cm3 0.82~1.02
硬度/HARDNESS AskerC 94~96
圧縮率/COMPRESSIBILITY % 1.7~4.8

※上記規格は “Araibar” 厚み 1.3T の場合/*The Avore Specification is basedon the values at 1~3mm thickness of Araibar

POLISHING PERFORMANCE (Comparison with Colloidal Slurry)

POLISHING PERFORMANCE (Comparison with Colloidal Slurry)

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