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SEMICON Japan2010

日本橋コレクション

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半導体製造装置・システム

真直度形状測定機

真直度形状測定機

真直度形状測定機は、ラッピングプレートやポリッシングプレートの形状管理を行う測定機です。上下方向の測定が可能で、測定できる長さは1,000mm~2,150mmまで。断面形状をコンピュータで画像表示するため、精度向上に効果的な管理が行えます。

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HSS-Siries

1.測定精度 (条件 : 室温20±1℃、湿度60±5%以内) 
測定精度 ±5μm ** HSS-1400 以上はマスター補正による精度
繰返し測定精度 ±3μm
2.標準測定点数 
標準1000個(Max 5000個)随時変更可能。
3.センサ移動速度 (固定) 
30mm/sec.(モーター速度)
4.データ処理時間 
1min. 以内 (自動設定時の処理時間) 
※但し、パソコンの処理能力により、処理速度が変わります。
5.センサ
測定方式 接触式リニヤゲージ
測定範囲 0~10mm 
センサ接触圧力 150gf 
センサ分解能 1μm

スラリー自動精製再生装置

回収中継タンクを経由して送られてくるスラリー(砥粒)を除鉄→濾過→分級→調合等のプロセスにより、再利用可能な性状に再生するための装置です。

スラリー自動精製再生装置

スラリー自動精製再生装置

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