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SEMICON Japan2010

日本橋コレクション

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半導体製造用消耗部品

ミネラキャスト

ミネラキャスト

ミネラキャスト(御影石鋳造品) は、精密機械を製作するうえで必要な「振動減衰性」に応えるために開発された材料です。その性質は石材に類似し、「ポリマーコンクリート」という素材に属します。御影石の粒子をベースに、樹脂で固めた複合体です。

ミネラキャストの特徴
1. 高い振動減衰性
2. 比重が鋳鉄の 1/3
3. 熱安定性
4. 吸水性がない
5. 常温硬化で収縮がない
6. 部品の埋め込みが可能

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エッジポリシング・パッド

“Araibar”シリーズは コロイダルシリカを内包したエッジポリシュ専用固定砥粒パッドです。

Araibar Series / アライバー・シリーズ

AraibarSeries / アライバー・シリーズ

Araibar Series / アライバー・シリーズ

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SPECIFICATIONS

物性項目 単位 規格値 (最小~最大)
密度 g/cm3 0.82~1.02
硬度 AskerC 94~96
圧縮率 % 1.7~4.8

※上記規格は “Araibar” 厚み 1.3T の場合

POLISHING PERFORMANCE (Comparison with Colloidal Slurry)

POLISHING PERFORMANCE (Comparison with Colloidal Slurry)

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